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IPM半导体中度严苛

IPM半导体中度严苛
IPM半导体中度严苛

IPH半导体真空泵

     IPM半导体中度严苛无油真空泵系列用途: Load Lock、Transfer、Metrology、PVD、Etch、Ashing、Litho、Implant 特点: 绿色制造、全新系列干式真空泵 体积小、耗功低、大幅度降低成本 用于中度严苛制程的节能泵

  半导体制造中主要应用的真空泵类型包括干式真空泵以及涡轮分子泵。较早时,油式真空泵是半导体行业中常用的真空泵种类,目前干泵成为了半导体行业最主要的 真空泵类型。与基于液体的水环泵、油封泵和蒸汽喷射系统相比,干泵设备除了能 提高速度、工艺可重复性、灵活性和生产率之外,还能够显著节省运营成本、维护成 本和安装空间。

干泵设备的关键优势,不使用水或油来进行真空阶段的密封或者润 滑,因为设备的运行成本非常经济,可让用户优化真空工艺。另外,干泵消除了工艺 过程污染油或油搭载进入尾气处理系统的风险,他们不会产生废物、或者污染宝贵 的溶剂、产品或环境。

干式泵是一种无油的泵送机构,用于创造真空环境。它们在真空抽气机构内不使用 润滑剂,并有一系列的监测和控制选项。干泵广泛应用于半导体领域,也应用于冶 金、涂料、干燥、太阳能等工业过程。它们也用于科学仪器,如扫描电子显微镜。


IPM参数